CoFeHfO 박막 재료의 두께에 따른 마이크로파 투자율 특성

이영석; 김철기; 김동영

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자료유형: 학술저널

저자정보: 이영석 (충남대학교) 김철기 (충남대학교) 김동영 (안동대학교)

저널정보: 한국자기학회 한국자기학회지 한국자기학회지 제20권 제6호

발행연도: 2010.12

수록면: 228 - 233 (6page)

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본 연구에서는 비정질 CoFeHfO 박막 재료의 두께 변화에 따른 고주파 손실 특성을 분석하기 위하여 57~1368 ㎚ 두께의 CoFeHfO 박막 재료에 대해 마이크로파 투자율 특성을 분석하였다. 두께가 405 ㎚이하에서 허수부 투자율은 2.95 ㎓에서 하나의 공진주파수를 보이지만, 405 ㎚ 이상에서는 2.97 ㎓와 547 ㎒에서 두 개의 공진주파수를 보인다. 저자장하에서 측정한 토오크 곡선 결과로부터 547 ㎒에서 발생되는 공진주파수는 CoFeHfO 재료의 자화 용이축들의 각도 분포에 기인하는 것으로 자기장의 세기에 따라서 급격하게 감소하는 특성을 보인다. 따라서 두께가 400 ㎚ 이상의 CoFeHfO 박막 재료를 2 ㎓ 대역에서 작동하는 초소형 마이크로파 부품에 적용하기 위해서는 자화 용이축의 분포각도를 최소화시켜야 한다.

#마이크로파 투자율 #공진주파수 #포화자화량 #이방성자기장 #microwave permeability #resonance frequency #saturation magnetization #anisotropy field

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1. [학술지(정기간행물)] - G. F. Dionne / 2003 / / IEEE Trans. Magn 39 : 3121 ~

2. [학술지(정기간행물)] - H. Xi / 2003 / / J. Phys. D: Appl. Phys 36 : 1464 ~

3. [학술지(정기간행물)] - B. Viala / 2004 / / IEEE Trans. Magn 40 : 1996 ~

4. [학술지(정기간행물)] - J. P. Michel / 2006 / / IEEE Trans. Magn 42 : 3368 ~

5. [학술지(정기간행물)] - D. Y. Kim / 2008 / / IEEE Trans. Magn 44 : 3115 ~

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