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RF magnetron sputtering 법으로 Co-Fe-Al-O계 박막을 상온에서 제작하여 산소분압에 따른 포화자화, 보자력, 이방성자계, 고주파에서의 투자율(1 ㎓)을 조사하였다. 최적조건인 4%의 산소분압에서 제조한 Co_(69.9)Fe_(20.5)A_(14.4)O_(5.2) 박막은 포화지속밀도 18.1 kG, 보자력 0.82Oe, 이방성자계 24Oe, 실효투자율(1 ㎓) 1,024의 우수한 연자성을 나타내었다. Co-Fe-Al-O계 박막의 전기비저항은 산소분압이 증가함에 따라 증가하는 경향을 나타내었으며 우수한 연자기적 성질을 가지는 Co_(69.9)Fe_(20.5)A_(14.4)O_(5.2) 박막의 경우, 전기비저항은 560.7μΩ㎝이었다. 따라서 약 560.7μΩ㎝의 높은 전기비저항과 24 Oe의 높은 이방성 자계 때문에 Co_(69.9)Fe_(20.5)A_(14.4)O_(5.2) 박막이 고주파에서 우수한 연자기적 성질을 가지는 것으로 판단된다.
목차
국문초록
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험방법
Ⅲ. 실험 결과 및 고찰
Ⅳ. 결론
감사의 글
참고문헌
Abstract
참고문헌 (1)
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