지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 1999.11
- 수록면
- 58 - 63 (6page)
이용수
초록· 키워드
오류제보하기
In order to analyze the discharge-pumped KrF excimer laser, computer simulation code is developed. On the other hand, the electron velocity distribution in a discharge plasma, measured by the Thomson scattering method, showed the Maxwellian, while the code predicted non-Maxwellian. This disagreement was solved by introducing the electron-electron collision into the simulation code. We also developed a simulation code on the CO₂ laser-heated plasma in high-pressure Ar gas, ana estimated the formation process of Ar₂ excimer. The code predicted the possibility of the Ar₂ laser action at 126 nm.
목차
Abstract
1. Introduction
2. Simulation code of Rare-Gas-Halide Excimer Lasers
3. Measurement of Electron Distribution Function and Comparison
4. Ar₂ Formation in High Pressure Ar by CO₂ Laser Heating
References
참고문헌 (0)
참고문헌 신청함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
Excimer laser를 이용한 글라스의 기계적 특성
한국소성가공학회 학술대회 논문집
2005 .10
-
산업용 Excimer 레이저의 응용현황 ( Applications of Industrial Excimer Lasers )
대한전자공학회 학술대회
1987 .01
-
Excimer Laser Processing for the Electronics Industry
Advanced and Future Microelectronics Workshop - Advanced Packaging Technology -
1991 .01
-
Excimer Laser Lithography Equipment
대한전자공학회 워크샵
1989 .01
-
Excimer laser처리에 의한 광증폭용 레이저다이오드의 COD level향상 ( COD level increase of pump laser diode by excimer laser treatment )
한국통신학회 기타 간행물
1995 .01
-
Excimer laser 처리에 의한 광증폭용 레이저다이오드의 COD level 향상 ( COD level increase of pump laser diode by excimer laser treatment )
대한전자공학회 기타 간행물
1995 .01
-
Excimer laser를 이용한 세라믹 미세구멍 가공 ( Ceramic Microhole Machining using Excimer Laser )
대한기계학회 춘추학술대회
2001 .01
-
KrF excimer laser 열처리를 이용하여 만들어진 확산 n+/p 접합에서 2차원적 불순물 분포에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
2001 .01
-
A Silicon Containing Resist for KrF Excimer Laser Lithography
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
1998 .04
-
열적 비평형 전자분포를 갖는 아르곤 플라즈마의 두 전자그룹의 상대적인 기여도에 대한 연구
반도체디스플레이기술학회지
2018 .01
-
Realization of novel plasma performances based on systematic understanding of plasma behaviour using laser diagnostics
한국조명·전기설비학회 학술대회논문집
1999 .11
-
Laser Thomson Scattering Measurements and Modelling on the Electron Behavior in a Magnetic Neutral Loop Discharge Plasma
KIEE International Transactions on Electrophysics and Applications
2001 .12
-
Excimer laser를 이용한 알루미나(Al₂O₃) 세라믹의 미세구멍 가공 특성에 대한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2001 .05
-
Medical Applications of Excimer and Er : YAG Lasers ＂ Recent Progress in Medical Laser ＂
대한전자공학회 세미나
1996 .01
-
Etching Characteristics and Mechanism of Low Temperature Deposited Silicon Nitride Film Using Inductively Coupled CH2F2/O2/Ar Plasma
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2013 .11
-
ArF Excimer Laser Lithography
International Conference on Electronics, Informations and Communications
1998 .01
-
Laser direct writing 방법에 의한 미세유체소자용 패턴 제작 I - 폴리머에 대한 Excimer laser의 반응성 분석 -
한국레이저가공학회 학술대회 논문집
2002 .01
-
The Optical System for ArF Excimer Laser Exposure Tool
대한전자공학회 학술대회
1997 .01
-
Numerical Investigation of Excimer Laser Ablation of Nickel and Comparison with Experimental Study
Heat Transfer Conference
1998 .08
-
Experimental Study of Ablation of Polymer Material Using Excimer Laser ( Influence of Irradiation Angle )
Heat Transfer Conference
1998 .08
이 논문의 저자 정보
최근 본 자료
댓글(0)
0
UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-565-015503221