지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 1999.11
- 수록면
- 29 - 39 (11page)
이용수
초록· 키워드
오류제보하기
Both conventional and PI³ implanters require dense plasma sources for high productivity rate, and small sheath expansion in PI³ besides. The problem of the creation of large volume uniform plasma in PI³ facilities replaces that of beam forming in accelerators. Some aspects of ion extraction in both cases and Langmuir probe plasma diagnostics will be discussed. Plasma parameters of large volume multicusp do hot cathode and inductively coupled RF plasma sources obtained with Langmuir probe and ion mass analyzer will be presented. Design features and performances of high current Freeman and ECR ion sources will be described.
목차
Abstract
1. Introduction
2. Ion Extraction in cylindrical Geometry
3. Plasma Diagnostics by cylindrical Langmuir Probe
4. Freeman Ion Source
5. ECR Ion Source
6. Multicusp Hot Cathode and Inductively coupled Plasma Sources
7. Conclusion
References
참고문헌 (0)
참고문헌 신청함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
($Ar+N_2$)분위기 중에 제작된 Fe-B-Si-N 합금 박막의 연자기적 성질
한국재료학회 학술발표대회
1996 .01
-
My Experience with plasma Sources
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2004 .11
-
Plasma Properties of Dual-Frequency Inductively Coupled Plasma Source
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2014 .05
-
Study on High Precision Milling using Plasma Ion source
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2014 .09
-
COMPARISON OF PLASMA-INDUCED SURFACE DAMAGES IN VARIOUS PLASMA SOURCES
한국표면공학회지
1996 .10
-
전송선로를 이용한 플라즈마 전력 전달 연구
반도체디스플레이기술학회지
2016 .01
-
대기압 플라즈마 유동장에 삽입된 랑뮤어 프로브의 영향에 관한 수치적 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2006 .11
-
Cutoff Probe를 이용한 자화유도결합 플라즈마의 특성 연구
전기학회논문지
2016 .10
-
CU⁺ ION EXTRACTION FROM A MODIFIED BERNAS ION SOURCE IN A METAL-ION IMPLANTER
Nuclear Engineering and Technology
2009 .01
-
Plasma Properties by Pulsed Inductively Coupled Plasma Source using Dual Frequency
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2014 .05
-
Fabrication of soluble organic thin film transistor with ammonia ($NH_3$) plasma treatment
한국정보디스플레이학회 International Meeting
2009 .01
-
Recent Issues on Large Area and High Density Plasma Sources
대한전자공학회 학술대회
1998 .01
-
고수율 집속 이온빔 장치를 위한 ICP 이온원의 빔 인출 특성에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2013 .05
-
Beam Scanning in Ion Implanter
대한전자공학회 단기강좌
1983 .01
-
Langmuir Probe를 이용한 유도결합형 플라즈마의 측정
대한전기학회 학술대회 논문집
2003 .07
-
Effect of Process Parameters on Plasma Equipment in a Cl₂ Inductively Coupled Plasma
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2008 .06
-
국부 방전 효과를 이용한 고휘도 집속 이온빔용 유도결합 플라즈마 이온원의 개발
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2006 .05
-
PLASMA EFFECTS ON HUMAN LIVER CANCER CELLS
대한기계학회 춘추학술대회
2008 .05
-
Development of Internal linear Inductively Coupled Plasma Sources for Large Area Flat Penal Display Processing
한국정보디스플레이학회 International Meeting
2007 .01
이 논문의 저자 정보
최근 본 자료
댓글(0)
0
UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-565-015503185