DSMC법을 이용한 터보분자펌프 다단 익렬의 2차원 유동장 해석

허중식; 황영규

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 허중식 황영규

저널정보: 대한설비공학회 대한설비공학회 학술발표대회논문집 대한설비공학회 1999년도 하계학술발표회 논문집(Ⅰ)

발행연도: 1999.6

수록면: 472 - 476 (5page)

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The performance of a turbomolecular pump(TMP) in both molecular and transition flow regions is predicted by the numerical solutions of the Boltzmann equation obtained by the direct simulation Monte Carlo method. The compression characteristics of the TMP are investigated for a wide range of the Knudsen number( Kn ). The maximum compression ratio strongly depend on Kn in transition region, while do they weakly on Kn in free molecular flow region. The present numerical results of the single blade row in both molecular and transition regions are used to predict the overall performance of a TMP, which has three kinds of blade with 24-rows.

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주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 공학 > 재료·에너지공학 > 기타 재료·에너지공학

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