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We have studied the effect of the nitrogen on the microstructure, thermomagnetic properties and corrosion resistance of Fe-Hf-C-N nanocrystalline thin films with high permeability and high saturation magnetization. These films were fabricated by reactive sputtering in Ar+N₂ plasma using an rf magnetron sputtering apparatus. As P_(N2) increases, the microstructure changes from amorphous to crystalline α-Fe phase and again returns to amorphous one. Spin wave stiffness constant increases with P_(N2) until 5% P_(N2), and then decreases with the further increase. This trend corresponds well with that of the microstructure with increasing P_(N2). The Fe-Hf-C-N films with over 3% P_(N2) show higher corrosion resistance than the N-free Fe-Hf-C films. The Fe-Hf-C-N films are considered to have high potentials for the head core materials suitable for high density recording systems, owing to their excellent soft magnetic properties and corrosion resistance.
목차
Abstract
Ⅰ. INTRODUCTION
Ⅱ. EXPERIMENTAL
Ⅲ. RESULTS AND DISCUSSION
Ⅳ. CONCLUSIONS
REFERENCES
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