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Fe-Hf-N 연자성 박막의 물리적, 자기적 특성에 미치는 열처리 영향에 대하여 고찰하였다. Fe-Hf-N 연자성 박막을 질소 분위기에서 열처리 할 경우 표면에 Fe₂O₃-Fe₃O₄으로 구성된 산화층이 생성되었고, 이 산화층 아래 Fe-Hf-O-N 층이 생성되었다. 열처리 온도의 증가에 따라 Fe₂O₃-Fe₃O₄ 산화층과 Fe-Hf-O-N 층의 두께가 증가하였고, Fe₂O₃-Fe₃O₄ 산화층을 제외한 박막의 두께는 열처리전과 같았다. 열처리한 박막에서 표면에 생성된 Fe₂O₃-Fe₃O₄ 산화층의 두께를 제외하고 계산한 박막의 연자기 특성은 열처리 전의 연자기 특성에 비해 약간 떨어지는 것으로 나타났다. 그러므로, Fe-Hf-O-N 층은 박막 전체의 연자기 특성을 크게 떨어뜨리지 않으며, 열처리 후 박막 전체의 연자기 특성은 Fe-Hf-O-N과 Fe-Hf-N의 다층막의 연자기 특성을 나타내는 것으로 생각된다.
목차
국문초록
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험 방법
Ⅲ. 결과 및 고찰
Ⅳ. 결론
참고문헌
Abstract
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