지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
초록· 키워드
오류제보하기
Ar+O₂ 혼합가스 중에서 반응성 스퍼터링을 통해 직접 Fe-Hf-O계 초미세결정 연자성 박막을 제조하였으며, 이때 산소분압비의 변화가 Fe-Hf-O 박막의 미세구조 및 자기적 특성에 미치는 영향을 조사하였다. 산소분압이 증가함에 따라 박막의 포화자속밀도는 점차적으로 감소하며 연자기특성이 10%까지는 향상되다가 다시 열화되는 경향을 나타내었다. 최적조건인 10%의 산소분압에서 증착한 Fe_(82)Hf_(3.4)O_(14.6) 초미세결정 박막은 열처리 없이 증착한 상태에서 우수한 연자기 특성을 나타내었으며, 이때의 자기적 특성은 각각 포화자속밀도 17.7 kG, 보자력 0.7 Oe 및 실효투자율 2,500(100 ㎒)의 값을 나타내었다. 산소분압이 증가함에 따라 결정립 크기가 감소하며 15% 이상의 산소분압에서는 Fe₃O₄가 생성되었다. 따라서 10 %에서 가장 우수한 연자기 특성을 나타내는 것은 결정립 크기와 산화물 생성에 의해 설명될 수 있다. Fe-Hf-O계 초미세결정 박막의 전기비저항은 산소분압이 증가함에 따라 증가하는 경향을 나타내었다. 우수한 연자기 특성을 나타내는 Fe_(82)Hf_(3.4)O_(14.6) 박막의 경우, 약 150μΩ㎝로 산소를 첨가하지 않은 경우의 30μΩ㎝에 비하여 약 5배 증가된 값을 나타내었다. 따라서 Fe_(82)Hf_(3.4)O_(14.6) 초미세결정 박막이 고주파에서 우수한 연자기 특성을 나타내는 원인은 주로 높은 전기비저항과 미세하게 형성된 결정립에 기인한 것으로 생각된다.
목차
국문초록
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험방법
Ⅲ. 실험결과 및 고찰
Ⅳ. 결론
참고문헌
Abstract
참고문헌 (0)
참고문헌 신청함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
Fe - Hf - O계 박막에서 조성이 미세구조 및 연자기 특성에 미치는 효과
한국자기학회지
1997 .10
-
나노결정구조 Fe - Hf - O 박막의 미세구조 및 연자기 특성
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
1997 .11
-
반응성 스퍼터링에 의해 제조된 Fe - Hf - N 박막의 연자기 특성에 미치는 열처리 영향
한국자기학회지
2000 .08
-
Fe - Hf - C계 연자성 박막합금의 자기적 성질
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
1992 .10
-
접합유리와 반응된 Fe - Hf - N 박막의 연자기 특성
한국자기학회지
2003 .02
-
Excellent magnetic properties of Co52.5Fe22.5Hf₁₀O₁₅ thin films
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
2006 .11
-
Influence of Film Thickness on the Soft Magnetic Properties of Sputtered Co-Fe-Hf-O Films
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
2007 .05
-
Hf 첨가 원소가 Nd₂Fe₁₄B / Fe₃B 초미세립 복합자성상의 자기 특성에 미치는 영향
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
1995 .05
-
질소 반응성 RF 마그네트론 스퍼터링에 의해 제조된 As - Deposited Fe - Hf - C - N 박막의 연자기 특성
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
1997 .05
-
THE EFFECT OF NITROGEN ON THE MICROSTRUCTURE AND THE CORROSION RESISTANCE OF Fe - Hf - C - N THIN FILMS
한국자기학회지
1995 .10
-
Fe - Hf - C계 연자성 박막합금의 자기적 성질
한국자기학회지
1993 .03
-
Application of Nanocrystalline Fe-Hf-N Soft Magnetic Films to Power Inductors
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
2010 .12
-
Fe-Hf-N 박막의 열처리 후 연차기특성 열화
한국결정학회지
2001 .01
-
Fe - Ni박막과 Fe / Fe - Ni / Fe다층박막의 연자성특성 연구
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
2002 .04
-
Fe / Co 다층 박막의 자기 특성
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
1992 .10
-
Co - Hf - Pd 비정질 박막합금의 연자성
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
1991 .05
-
Sputtering법에 의해 제조된 Nd - Fe - B 박막의 자기적 특성
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
1999 .04
-
Structure and Magnetic Properties of Co₁₉Fe₅₂Hf₁₀O₁₉ Annealed under Longitudinal Magnetic Field
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
2007 .05
-
Co 치환이 α-Fe기 초미세결정립 Nd - Fe - B계 합금의 자기특성에 미치는 영향
한국자기학회지
2002 .02
-
Effect of O₂ Partial Pressure on Soft Magnetic Properties of Fe - Al - O Thin Films
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
2002 .12
이 논문의 저자 정보
이 논문과 함께 이용한 논문
산소분압에 따른 IGZO 박막트랜지스터의 특성변화 연구
한동석
,
강유진
,
박재형
외 2명
한국진공학회 학술발표회초록집
2013
.02
볼로미터 응용을 위한 산소분압에 따른 반도성 YBa₂Cu₃O₇-x 박막의 전기적 특성
정재운
,
이성갑
,
김대영
외 3명
대한전기학회 학술대회 논문집
2012
.11
Influence of Oxygen Partial Pressure on ZnO Thin Films for Thin Film Transistors
Jae-Won Kim
,
Ji-Hong Kim
,
Ji-Hyoung Roh
외 10명
한국진공학회 학술발표회초록집
2011
.02
TFT 채널층으로 사용하기 위한 IGZO박막의 산소분압에 따른 특성변화
신주홍
,
김지홍
,
노지형
외 7명
한국진공학회 학술발표회초록집
2011
.08
Machanical and electrochemical properties of CrZrN coatings as a function of N₂ partial pressure synthesized using a Cr-Zr segment target
김영수
,
이하나
,
이상율
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2009
.10
최근 본 자료
댓글(0)
0
UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-428-015141294