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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국자기학회 한국자기학회지 한국자기학회지 제9권 제5호
발행연도
1999.10
수록면
256 - 262 (7page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

1999

CoCr(Mo) 박막의 자기적 특성 및 미세구조에 미치는 Si 하지층의 영향
이호섭 ,  남인탁 한국자기학회지 1999.10 학술저널
Si 하지층의 영향에 따른 CoCr 박막의 미세구조 및 자기적 특성의 변화
이호섭 ,  김동현 ,  남인탁 한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집 1999.04 학술대회자료

초록· 키워드

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DC/RF magnetron sputtering system을 이용하여 CoCr 박막 및 CoCrMo 박막의 Si 하지층의 도입에 따른 자기적 특성 및 미세구조의 변화에 대해 살펴보았다. 박막의 자기적 특성을 VSM을 통하여 측정한 결과, 고온에서 증착된 CoCrMo/Si 박막의 경우가 CoCr/Si 박막과는 달리 Si 하지층의 두께가 증가할수록 수직보자력값이 증가하는 것을 알 수 있었으며 AFM과 SEM을 이용한 surface morphology의 변화를 통하여 결정립 미세화와 균일화가 수직보자력을 증진시킴을 알 수 있었다. 또한, 박막의 결정배향성 및 미세구조를 XRD와 SEM을 통하여 관찰한 결과, CoCrMo/Si 박막의 (0002) 우선 배향성이 CoCr/Si 박막의 (0002) 우선 배향성보다 상당히 크게 증진된 것을 볼 수 있었으며, SEM의 단면 측정을 통하여 CoCrMo/Si 박막과 CoCr/Si 박막의 기판 표면에서 성장하는 columnar 구조의 발달을 잘 관찰할 수 있었다.

목차

국문초록

Ⅰ. 서론

Ⅱ. 실험방법

Ⅲ. 실험결과 및 고찰

Ⅳ. 결론

참고문헌

Abstract

참고문헌 (0)

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