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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
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저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제3권 제1호
발행연도
1994.3
수록면
45 - 50 (6page)

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CoCr 박막에 있어서 C축 결정배향성과 미세구조 변화에 대한 Co_(73)Cr_(27) 씨앗층의 영향이 조사되었다. 기록밀도가 높고 재생전압도 높은 CoCr 수직기록매체를 개발하기 위해서는 CoCr층의 두께가 엷으면서 결정배향성이 우수하고 결정립 크기가 적고 균일한 자성기록막 제조가 필요하다. CoCr 단층막 또는 CoCr/퍼말로이 이중막 제조에서 500Å 정도의 Co_(73)Cr_(27)층을 씨앗층으로 만들어 줌으로써 기록층인 CoCr 박막이 0.2 ㎛의 두께에서도 천이층이 거의 없고 결정배향성이 우수한 자성막을 제조할 수 있었다. 또한 Co_(73)Cr_(27) 씨앗층은 비록 결정립 크기는 증가시켰지만 기록층의 에피택시 성장에 보다 바람직한 것으로 조사되었다.

목차

요약

Abstract

1. 서론

2. 실험방법

3. 실험결과 및 고찰

4. 결론

참고문헌

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