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PSD(Position Sensitive Detector)를 위치센서로 사용하여 광학적 자동촛점 장치를 구성하여 그 특성을 조사하였다. 본 연구는 광 리소그라피 장비인 KrF 엑사이머 레이저 스텝퍼를 모델로 개발 하였다.
광원으로 780 ㎚인 반도체 레이저를 사용하였으며, 시준기, 반사경, 렌즈 등을 사용한 광학계를 구성하여 위치신호(position error signal)를 측정 하였으며, 분해능은 0.03 ㎛이었다.
광원으로 780 ㎚인 반도체 레이저를 사용하였으며, 시준기, 반사경, 렌즈 등을 사용한 광학계를 구성하여 위치신호(position error signal)를 측정 하였으며, 분해능은 0.03 ㎛이었다.
목차
국문초록
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 이론
Ⅲ. 실험장치 및 실험방법
Ⅳ. 실험결과
Ⅴ. 결론
참고문헌
Abstract
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