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이용수
Abstract
1. Introduction
2. Cell fabrication
3. Rear Contact Design and Optimization
4. Rear boron groove diffusion
5. Optimization of Rear Groove Masking Oxide
6. Problems associated with boron diffusion process
7. Thin Oxide(<4000 Å) Processing and the use of textured wafers
8. Discussion
9. Conclusion
REFERENCES
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