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한국태양에너지학회 한국태양에너지학회 논문집 태양에너지 제18권 제2호
발행연도
1998.6
수록면
137 - 144 (8page)

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분무열분해법으로 SnO₂ 박막을 증착하여 기판표면의 온도에 따른 방향성과 결함을 조사하였다. 기판의 온도가 300℃ 일 때부터 결정성 박막이 증착되었다. 기판의 온도가 400℃까지 증가함에 따라 (200)면이 우선적으로 성장하였으며 결정립의 크기도 증가하였다. Sb를 첨가하지 않은 박막은 Sn과 O로 구성되어 있으며 산소공위를 포함한다. Sb를 첨가한 박막은 산소공위 외에 Sn 위치와 O위치에 각각 치환된 Sb와 Cl을 가진다.

목차

요약

ABSTRACT

1. 서론

2. 실험 방법

3. 결과 및 고찰

4. 결론

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