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논문 기본 정보

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한국분석과학회 분석과학 분석과학 제16권 제5호
발행연도
2003.10
수록면
368 - 374 (7page)

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반도체 공정에서는 많은 종류의 가스를 사용하는 데 그중 할로겐 가스는 독성과 환경오염 문제를 야기 시키고 있다. 본 실험은 할로겐 가스를 기존의 제거 방식이 아닌 수지를 이용한 제거 방법 및 측정을 하는 연구를 하였다. 우선 실험에 사용한 할로겐 가스로는 BCl₃와 CF₄가스를 제거하는 실험을 하였다. 실험 장치는 실험조건을 고려하여 직접 제작을 하였다. 그리고 수지를 이용한 흡착 제거를 하기 위해 제올라이트, Ag^+ 이온으로 치환된 제올라이트, AgMnO₃, ZnO등 여러 가지 수지를 이용하여 실험하였다. 가스의 분석을 위해서 실제 사용되어지는 적외선 분광기 (FT-IR)를 이용하여 정성 및 정량분석을 하여 각각의 수지에 대한 할로겐 가스의 제거량을 계산하여 수지의 제거 능력을 확인하였다. 제올라이트, Ag 제올라이트, AgMnO₃, ZnO등의 수지중에서 ZnO가 가장 좋은 제거 효율을 보였으며 BCl₃가스의 경우 수지 1g에 대해 0.094 g을 제거하는 결과를 보였다. 그러나 CF₄가스는 일반적인 고체 수지는 제거를 하지 못하고 액체인 CHCl₃가 약간의 제거능력을 보이는 결과를 얻었다.

목차

요 약

Abstract

1. 서 론

2. 실험 방법

3. 결과 및 고찰

4. 결 론

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