반도체공정에서 배출되는 불소계 온난화 기체의 촉매분해 기술

이진욱; 박노국; 이태진; 장원철

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자료유형: 학술저널

저자정보: 이진욱 (영남대학교) 박노국 (영남대학교) 이태진 (영남대학교) 장원철 (코캣)

저널정보: 한국에너지기후변화학회 에너지기후변화학회지 에너지기후변화학회지 Vol.10 No.1

발행연도: 2015.8

수록면: 39 - 51 (13page)

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본 논문에서는 반도체 공정에서 배출되는 불소계 화합물(SF6, NF3 등)의 지구 온난화에 미치는 영향을 소개하고 이들 물질들을 처리하기 위한 여러 가지 방법들 중에서 촉매분해 반응에서 발생되는 문제점과 해결방안 등을 제안하였다. 촉매분해반응에 의한 불소계화합물의 처리는 가수분해가 가장 적합한 반응이라 할 수 있다. 그럼에도 불구하고 가수분해과정에서 불소와 촉매의 금속성분이 결합한 금속불화물의 형성으로 인한 촉매의 비활성화가 초래되기 때문에 이를 억제하기 위한 방법들이 요구된다. 금속불화물의 형성을 억제하는 방법으로 조촉매를 적용한 알루미나 기반의 촉매가 개발되고 있으며, 운전조건에 따른 조촉매의 함량과 종류가 선택적으로 이용되어야 한다. 궁극적인 촉매비활성화를 억제하는 방안으로 고체 산 특성을 유지하면서 불소와 결합하지 않거나 불소와의 반응성이 매우 낮은 금속산화물을 찾는 것이 기술의 핵심이라 할 수 있다.

#지구온난화 #촉매분해 #불소계 화합물의 가수분해 #Global warming #Catalytic decomposition #Hydrolysis of fluoride-based compounds

참고문헌 (10)

참고문헌 신청

Yang, C. F. O. / 2009 / Assessment of removal efficiency of perfluorocompounds (PFCs) in a semiconductor fabrication plant by gas chromatography / Chemosphere 76(9):1273~1277

Lee, S. / 2015 / Separation of greenhouse gases (SF6, CF4 and CO2) in an industrial flue gas using pilot-scale membrane / Separation and Purification Technology 148:15~24

Wang, Y. / 2011 / Effective modification of MgO with surface transition metal oxides for NF3 decomposition / Journal of Natural Gas Chemistry 20(5):457~459

Jang, H. K. / 2002 / Effect of H2O on Thermal Destruction of SF6 and Catalyst Screening Study

김용슬 / 2015 / γ-Al2O3 촉매상에서 열분해와 가수분해에 의한 NF3 촉매분해 특성 / 공업화학 26(2):154~158

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