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논문 기본 정보

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대한기계학회 Journal of Mechanical Science and Technology Journal of Mechanical Science and Technology Vol.19 No.9
발행연도
2005.9
수록면
1,711 - 1,719 (9page)

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In an electro statically actuated nanoelectromechanical system (NEMS) resonator, it is shown that both the resonance frequency and the resonance quality (Q) factor can be manipulated. How much the frequency and quality factor can be tuned by excitation voltage and resistance on a doubly-clamped beam resonator is addressed. A mathematical model for investigating the tuning effects is presented. All results are shown based on the feasible dimension of the nano resonator and appropriate external driving voltage, yielding up to 20 MHz resonance frequency. Such parameter tuning could prove to be a very convenient scheme to actively control the response of NEMS for a variety of applications.

목차

Abstract

1. Introduction

2. Analysis

3. Conclusions

References

참고문헌 (13)

참고문헌 신청
Carr, D. W. and Craighead, H. G., 1997, "Fabrication of Nanoelectromechanical Systems in Single Crystal Silicon Using Silicon on Insulator Substrates and electron Beam Lithography," Journal of Vacuum Science Technology, B 15, No.6, pp.2760~2763. google schola Carr, D. W., Evoy, S., Sekaric, L., Craighead, H. G. and Parpia, J. M., 2000, “ Parametric Amplification in a Torsional Microresonator," Applied Physics Letters, Vol.77, No.10, pp.1545~1547. google schola Cleland, A. N. and Roukes, M. L., 2002, “ Noise Processes in Nanomechanical Resonators," Journal of Applied Physics, 92, No.5, pp.2758~2761. google schola Cleland, A., 2003, Foundations of Nanomechanics from Solid-State Theory to Device Applications, Springer. google schola Kim, D. H., Kim, B. K. and Park, J. O., 2004, "Implementation of a Piezoresistive MEMS Cantilever for Nanoscale Force Measurement in Micro/Nano Robotic Applications," KSME International Journal, Vol.18, No.5, pp.789~797. google schola

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