Metal gate 적용을 위한 Mo - based electrode의 특성 평가

이진우; 김지영

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 이진우 김지영

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제26회 학술발표회초록집

발행연도: 2004.2

수록면: 173 - 173 (1page)

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