차세대 CMOS dual metal gate용 Mo계열 합금 전극에 관한 연구

오태관; 이진우; 김지영

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 오태관 이진우 김지영

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제28회 학술발표회초록집

발행연도: 2005.2

수록면: 112 - 112 (1page)

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오태관

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이진우

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주요연구분야 공학 > 공학 일반 자연과학 > 물리학

논문수 24 이용수 1,325

김지영

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주요연구분야 자연과학 > 물리학 복합학 > 과학기술학

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AI 학습용 데이터	기본 메타	발행기관명, 간행물명, 권호명, 권(vol), 호(issue), 통권, 발행연도, 발행월, 논문명, 저자명, 시작페이지, 종료페이지, 전체페이지, 상세페이지URL
상세 메타 데이터	발행기관 메타	발행기관 이명, 영문명, 창립연도, 홈페이지URL, 발행기관 소개
	간행물 메타	부제목, 간행물 유형, ISSN, ISBN, 최초발행연도, 폐간연도, 간행빈도, 발행주기, 등재사항, 이용수, 피인용수, 권호수, 논문수, 표지이미지
	논문 메타	작성 언어, 부제목, 대등제목, 목차, 키워드, 초록, 이미지, 참고문헌, 이용수, 피인용수, 논문활용도, DBpia통합주제분류, KDC분류, DDC분류, 한국연구재단분류, UCI, DOI
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