Auger Effect에 關한 小考

이영희

과학논집

1979 .12

Si(111)7×7 표면에서 Mg 성장양상 연구

안기석 ,  여환욱 ,  이경원 외 3명

Applied Science and Convergence Technology

1993 .12

고에너지 이온주입된 씰리콘에서 이차결함 생성에 미치는 이온종류(Si, P, B)의 효과

조남훈 ,  노재상 ,  장기완 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .02

ULSI 확산억제막으로 적합한 Ti - Si - N의 조성 범위에 관한 연구

박상기 ,  강봉주 ,  양희정 외 4명

Applied Science and Convergence Technology

2001 .10

이온 주입에 의한 PET막의 표면경도변화 및 광 투과도 변화

박재원 ,  이재형 ,  이재상 외 3명

Applied Science and Convergence Technology

2001 .07

Positron Auger Electron Spectroscopy (PAES) studies of the Si(100) and Si(111) surfaces

김재홍 ,  A. H. Weiss

한국진공학회 학술발표회초록집

2004 .02

B10H₁₄ 이온 주입을 통한 ultra - shallow p+ - n junction 형성 및 전기적 특성

송재훈 ,  김지수 ,  임성일 외 3명

Applied Science and Convergence Technology

2002 .09

Si(100)에 이온 주입 시 dose rate에 따른 damage profile과 sheet resistance의 변화

김형인 ,  정영완 ,  강석태

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .08

Co 이온이 주입된 GaN의 특성

김우철 ,  강희재 ,  오석근 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2004 .08

고에너지 B 이온주입에 의해 형성된 결함의 열처리 거동특성

김국진 ,  박세일 ,  유광민 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .07

Advances in Auger electron spectroscopy for surface analysis

이영백

한국진공학회 학술발표회초록집

1991 .07

이온 주입에 따른 Oxide 성장 거동 고찰

임철호 ,  김재영 ,  홍성윤 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .07

이온채널링분석을 이용한 이온주입 및 열처리 과정에서의 결정결함의 연구

이상환 ,  김광일 ,  권오준 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1993 .02

양전자 소멸 Auger 전자 에너지 측정을 위한 Time of Flight의 분해도 향상에 관한 이론적 연구

김재홍 ,  양태건 ,  이종용 외 1명

Applied Science and Convergence Technology

2008 .07

하이브리드 코팅 시스템을 이용한 Ti-Si-N 박막의 Si 함량에 따른 열화학적 특성 및 기계적 특성 평가

최종원 ,  김도근 ,  어광준 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2008 .08

Growth of Ti on Si(111) - 7×7 Surface and the Formation of Epitaxial C54 TiSi₂ on Si(111) Substrate

김건호 ,  김인호 ,  이정주 외 9명

Applied Science and Convergence Technology

1992 .02

양전자 소멸 Auger 전자에너지 측정을 위한 TOF 시스템의 에너지 분해도 향상에 관한 이론적 연구

김재홍 ,  김유석 ,  이종용 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2008 .08

Si(100)에서의 플라즈마 이온주입 방법으로 도핑된 Boron의 거동연구

서정혜 ,  이우정 ,  정광수 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2007 .08

Auger Electron Spectroscopy(AES)를 이용한 실리콘 산화막에 대한 전자빔 손상 관찰

허성 ,  박윤백 ,  김호정 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .07

조성이 높은 Al Al_xGa_1-x 의 이온 주입법에 N(x=0.4-0.5) 의한 도핑 및 활성화 연구

류미이 ,  E. A. Moo ,  e 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2008 .02