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Transfer Mold 법에 의한 전계 에미터 어레이 제작 및 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .02
CHF₃ / C₂F6 반응성이온 건식식각에 의해 형성되는 실리콘 표면변형의 회복에 관한 연구 (Ⅱ)
한국진공학회 학술발표회초록집
1992 .02
습식 및 건식 식각으로 표면 텍스처링된 다결정 실리콘 태양전지의 라미네이팅 공정에 대한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .08
CHF₃ / C₂F6 반응성이온 건식식각에 의해 형성되는 실리콘 표면의 잔류층 및 손상층에 관한 연구 (Ⅰ)
한국진공학회 학술발표회초록집
1992 .02
건식식각공정물성데이터베이스의 생산전략
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .08
플라즈마 건식식각 중에 발생하는 충격에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .07
반응성 이온 식각 공정을 활용한 다결정 실리콘 태양전지의 표면 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
다결정 실리콘내 중수소 결합 형성 방법에 따른 다결정 실리콘의 광반응 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
티타늄이 코팅된 실리콘 팁 어레이의 전계방출 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .07
SF6와 NF3를 이용한 SiNx의 건식식각특성과 관련된 변수에 대한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .08
실리콘 나노점을 이용한 전계방출 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
저온 프로세스에 의한 다결정 실리콘계 박막 제작
한국진공학회 학술발표회초록집
2005 .08
저온 프로세스에 의한 다결정 실리콘계 박막의 제작
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
다결정 실리콘박막의 결정립성장
한국진공학회 학술발표회초록집
1992 .02
건식 시각에 의한 실리콘 표면층의 변형과 회복에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1992 .07
펄스 플라즈마를 이용한 라디칼 제어에 의한 실리콘 건식 식각시 RIE lag 개선에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
자화 유도 결합 플라즈마의 산화물 건식 식각 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .08
Two - zone 확산법을 이용한 다결정 실리콘 박막으로의 Phosphorus 도핑에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .02
건식식각을 이용한 n-GaN 표면의 Cylinderical Trapezoid 형성과 식각깊이 변화에 따른 수직형 발광다이오드 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
에미터 도핑 농도와 Al2O3 페시베이션 막 특성 평가
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
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