지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
이용수
등록된 정보가 없습니다.
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
자화된 고밀도 유도결합형 플라즈마를 이용한 PZT 식각특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .02
평판형 유도결합플라즈마를 이용한 RF 스퍼터 식각반응로 제작 및 특성에 관한 연구
Applied Science and Convergence Technology
1995 .06
자화된 유도결합 플라즈마에서의 SF₆/O₂ 특성 및 Silicon Via에 대한 식각 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
자화된 유도결합형 플라즈마를 이용한 Al - Nd 박막의 식각특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
자화 유도 결합 플라즈마를 이용한 Platinum 식각에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .02
자장강화된 유도결합형 플라즈마를 이용한 산화막 식각에 대한 연구
Applied Science and Convergence Technology
1998 .11
자화 유도 결합 플라즈마의 산화물 건식 식각 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .08
평면형 유도결합 플라즈마의 특성 및 선택적 산화막 식각 응용에 관한 연구
Applied Science and Convergence Technology
1997 .02
자화 유도 결합 플라즈마의 방전 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .08
자화된 유도결합형 플라즈마 식각공정시 형성된 실리콘표면의 오염 및 손상에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1996 .06
평판형 직사각 유도결합 플라즈마 표면 처리 시스템의 수치 모델링
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .02
공진 안테나를 사용한 유도 결합 플라즈마에서 고효율 플라즈마 발생 및 플라즈마 동역학 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
유도결합형 플라즈마 발생기(Inductively Coupled Plasma Source)에서 발생되는 산소 플라즈마의 특성연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .02
자화된 평판형 유도결합 SF6 플라즈마를 이용한 게이트 폴리실리콘 극저온 건식 식각 특성의 연구
Applied Science and Convergence Technology
1997 .08
유도결합플라즈마 식각 장비에서 안테나와 웨이퍼간 거리 차에 따른 플라즈마 변화 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
유도 결합 플라즈마를 이용한 6H - SiC 식각 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .07
유도 결합형 플라즈마를 이용한 GaN 식각 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .02
Halogen - based Inductively Coupled Plasma에서의 Ag 식각 특성에 대한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .02
컷오프 탐침과 랑뮤어 탐침을 이용한 자화유도결합플라즈마 특성 진단
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .08
0