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저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제12회 학술발표회논문개요집
발행연도
1997.2
수록면
74 - 74 (1page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

1997

CMOS Retrograde Well 및 Buried Layer 형성시 누설전류 임계거동에 영향을 주는 결함에 관한 연구
장윤택 ,  허태훈 ,  노재상 한국진공학회 학술발표회초록집 1997.02 학술대회자료
Buried Layer를 포함한 CMOS Retrogade Well 형성시 Threading Dislocation에 관한 연구
장윤택 ,  허태훈 ,  노재상 한국재료학회 학술발표대회 1997.01 학술대회자료

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목차

1. 서론

2. 실험방법

3. 실험결과 및 고찰

4. 결론

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