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유도결합형 플라즈마 발생기(Inductively Coupled Plasma Source)에서 발생되는 산소 플라즈마의 특성연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .02
컷오프 탐침과 랑뮤어 탐침을 이용한 자화유도결합플라즈마 특성 진단
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .08
정전 탐침을 이용한 유도 결합형 반응기에서 발생하는 산소 플라즈마의 특성연구
Applied Science and Convergence Technology
2000 .12
정전 탐침을 이용한 산소 플라즈마의 음이온 발생 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
평면형 유도결합 플라즈마의 특성 및 선택적 산화막 식각 응용에 관한 연구
Applied Science and Convergence Technology
1997 .02
대전력 펄스 플라즈마 내에서 정전 탐침을 이용한 시변동 플라즈마 변수 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .02
공진 안테나를 사용한 유도 결합 플라즈마에서 고효율 플라즈마 발생 및 플라즈마 동역학 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
랑뮤어 탐침에 의해 변형된 열플라즈마 특성에 관한 해석적 연구
Applied Science and Convergence Technology
2008 .05
이중 주파수를 이용한 유도 결합형 플라즈마의 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
유체시뮬레이션을 통한 대면적 유도결합 플라즈마의 최적화 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
유체시뮬레이션을 통한 대면적 유도결합 플라즈마의 최적화에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
유도 결합 플라즈마 스퍼터 승화법을 이용한 Cr 박막 증착 및 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .08
Dry etching of Al₂O3 thin films in inductively coupled plasma system
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .08
Inductively Coupled Plasma의 Numerical Simulation
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .07
Diagnostics and modeling of inductively coupled methane plasma using the electrostatic probe and plasma simulations
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
Analysis of chemical reactions of CF₄ and C₄F8 for inductively coupled plasma based on plasma parameters
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
다양한 공정 주파수에서 유도 결합 플라즈마의 플라즈마 밀도와 에너지 전달 효율 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
준광학 밀리미터파를 이용한 유도결합 플라즈마의 물성 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
Uniformity Control by Using Helium Gas in the Large Area Ferrite Side Type Inductively Coupled Plasma
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
평판형 직사각 유도결합 플라즈마 표면 처리 시스템의 수치 모델링
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .02
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