High density micro ion beam by plasma ion source

Masaki SUGAWARA ,  Ha ,  uo KASAHARA 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Transport Modelling on High Density Plasma Discharge with New Algorithm

Choe Hee-Hwan ,  N.S.Yoon ,  Duk-In Choi

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .02

Detail relation of negative ion density with positive ion mass and sheath parameters

Hye-Ran Kim ,  Hyun-Jong Woo ,  Jong-Ho Sun 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .02

Effects of the Capacitive Field in an Inductively Coupled Plasma Discharge

HeeHwan Choe

Applied Science and Convergence Technology

2017 .09

Simulation and Measurement of Characteristic in 450 ㎜ CCP Plasma Source

박기정 ,  서상훈 ,  장홍영

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

Measurement of characteristics of plasma discharge in liquid

Ju-Sung Kim ,  Boo-Ki Min ,  Seong-Oun Kang 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .08

Hybrid simulations for discharge plasma

이현수 ,  김웅 ,  이해준 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1998 .07

Diagnosis of atmospheric plasma by measuring the capacitive reactance

Sang Hyuk HWANG ,  Seung Jun LEE ,  Ye-Seul LEE 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Research to Achieve Uniform Plasma in Multi-ground Capacitive Coupled Plasma

박기정 ,  이윤성 ,  유대호 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2014 .02

grid를 이용한 plasma parameter control

배근희 ,  김성식 ,  홍정인 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .02

Temporal fluctuation of electron density measured by means of Wave-Cutoff method in Radio Frequency Capacitive Coupled Plasma

Byung-Keun Na ,  Ki-Min Roh ,  Hong-Young Chang 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2007 .08

Electron paramagnetic resonance spectra of natural spinel MgAl₂O₄ doped with Me³+ (Me=Cr³+, Fe³+) ions

The-Long Phan ,  Manh-Huong Phan ,  A. N. Ulyanov 외 1명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2003 .12

Composition Depth Profiling of Fe/Ni and Pt/Co Multilayers Using a Buckminsterfullerene (C₆₀) Ion

K. J. Kim ,  D. W. Moon ,  P. Chi 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2005 .08

Flexible Plasma Sheets

Guangsup Cho ,  Yunjung Kim

Applied Science and Convergence Technology

2018 .03

Development of an RF matching system in an RF inductively coupled plasma (ICP) source for 100 kW negative ion beam

박민 ,  정봉기 ,  김태성 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .08

레이저를 이용한 N₂ 플라즈마 쉬스 분석

정진수 ,  김병환

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .02

Etch Characteristics of SiO₂ by using Pulse-Time Modulation in the Dual-Frequency Capacitive Coupled Plasma

전민환 ,  강세구 ,  박종윤 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .02

Development of a DC Pulse Atmospheric Micro Plasma using a Voltage Doubled Capacitive Ballast

하창승 ,  차주홍 ,  김동현 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2013 .08

Investigation of the Driving Frequency Effect on the RF-Driven Atmospheric Pressure Micro Dielectric Barrier Discharges

Hyowon Bae ,  Jung Yeol Lee ,  Hae June Lee

Applied Science and Convergence Technology

2017 .07