A Cutoff Probe for the Measurement of High Density Plasma

유광호 ,  나병근 ,  김대웅 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .08

Measurement of Electron-neutral Collision Frequency Using Wave-cutoff Method

유광호 ,  나병근 ,  김대웅 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .02

Measurement of Electron Density and Electron-neutral Collision Frequency Using Cutoff Probe Based on the Plasma Reactance Measurement

유광호 ,  김대웅 ,  나병근 외 6명

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

A Brief Review of Electron Kinetics in Radio-Frequency Plasmas

Hyo-Chang Lee

Applied Science and Convergence Technology

2019 .07

Electron-neutral Collision Frequency Measurement Using Cutoff Method

유광호 ,  김대웅 ,  나병근 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .08

Reliability and reproducibility of cutoff probe for measuring electron density in low-pressure plasmas : simulation and experiment

Dae-Woong KIM ,  Shin-Jae YOU ,  Si-June KIM 외 7명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Cutoff Probe Analysis and Improvement

김대웅 ,  유신재 ,  유광호 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .08

Wave-cutoff method as a monitoring tool of the plasma uniformity and pressure

Byung Keun Na ,  Seung Kyu Ahn ,  Kwang Ho You 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .02

Simulation and Measurement of Characteristic in 450 ㎜ CCP Plasma Source

박기정 ,  서상훈 ,  장홍영

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

Control of plasma parameters and negative ion density with modified capacitive discharge

유신재 ,  채수항 ,  장홍영

한국진공학회 학술발표회초록집

2004 .08

Etch Characteristics of SiO₂ by using Pulse-Time Modulation in the Dual-Frequency Capacitive Coupled Plasma

전민환 ,  강세구 ,  박종윤 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .02

Heating Mode Transition in the Capacitive Mode of Inductively Coupled Plasma and the Electron Temperature Change During the E-H transition

정진욱 ,  김성식 ,  윤남식 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2002 .06

Fast Measurement using Wave-Cutoff Method

서상훈 ,  나병근 ,  유광호 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .02

Research to Achieve Uniform Plasma in Multi-ground Capacitive Coupled Plasma

박기정 ,  이윤성 ,  유대호 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2014 .02

Application of Low Frequency Region of Microwave Transmission Spectrum in the Cutoff Probe

D. W. Kim ,  S. J. You ,  B. K. Na 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .08

A Novel Transmission line model of Cutoff Probe for precise measurement of high density plasma

김시준 ,  이장재 ,  김광기 외 6명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .02

Effects of the Capacitive Field in an Inductively Coupled Plasma Discharge

HeeHwan Choe

Applied Science and Convergence Technology

2017 .09

Diagnosis of atmospheric plasma by measuring the capacitive reactance

Sang Hyuk HWANG ,  Seung Jun LEE ,  Ye-Seul LEE 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Experimental investigation on plasma density distribution at a wafer-level in an inductively coupled plasma using multiple passive resonant antennas

홍영훈 ,  김주호 ,  이무현 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .08

Radio Frequency Inductively Coupled Plasma 를 이용한 High Ionization Sputtering 장치의 제작

주정훈

한국진공학회 학술발표회초록집

1997 .02