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XRR 두께 표준물질용 HfO₂ 박막 제작 및 특성평가
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .08
XRR용 두께 표준물질 제작을 위한 박막성장 및 특성평가
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
XRR 박막 두께 표준물질 제작조건에 따른 구조적특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .08
나노 스케일 Oxides박막의 전처리방법에 따른 XRR 특성 변화
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
IBS로 증착된 산화물박막의 기판상태에 따른 XRR 특성 변화
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .08
ALD 방법에 의한 ZnO 박막의 성장
한국진공학회 학술발표회초록집
2003 .02
XRR(X-ray Reflectometery)을 이용한 나노 스케일 박막의 두께 및 정밀도 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
이온빔 스퍼터를 이용한 산화물박막 제조 및 구조적특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
W / Si 조성 변화에 따른 WSix film의 XRR / XRF 두께 측정 결과 비교
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .06
커버글라스 기판 위 ALD 성장시킨 TiO₂ 박막의 질화 과정에 따른 물리적 특성의 변화
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
Unusual ALD Behaviors in Functional Oxide Films for Semiconductor Memories
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .08
Fabrication of dense Al2O3 thin films using UV-enhanced ALD at room temperature
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .08
새로운 Al 선구 물질을 이용한 Al₂O₃박막의 ALD 성장
한국진공학회 학술발표회초록집
2003 .02
Effect of deposition temperature and thickness on surface properties of ALD TiO₂ films
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
Al doped ZnO 박막의 원자층 증착법(ALD)
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
Characterization of Al2O3 Thin Film Encasulation by Plasma Assisted Spatial ALD Process for Organic Light Emitting Diodes
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .02
나노급 다이아몬드 파우더에 ALD로 제조된 ZnO 박막 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
Plastic film의 투명 보호막 적용을 위한 PECVD법으로 제작된 SiOx 박막연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
MIM capacitor 적용을 위한 하부 금속에 따른 ALD - Al₂O₃ 박막 증착과 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .08
ALD법으로 증착한 SrTiO₃ 박막의 후속 열처리 온도에 따른 물리적 특성 평가
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
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