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저자정보
유병윤 (한국표준과학연구원) 빈석민 (한국표준과학연구원) 김창수 (한국표준과학연구원) 오병성 (충남대학교)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제39회 하계정기학술대회 프로그램집
발행연도
2010.8
수록면
174 - 174 (1page)

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