Dual Ion Beam system을 이용한 대면적 ITO(Indium Tin Oxide)증착 에 관한 연구

김정식; 배정운; 염근영

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 김정식 배정운 염근영

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제19회 학술발표회논문개요집

발행연도: 2000.7

수록면: 158 - 158 (1page)

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김정식

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주요연구분야 자연과학 > 물리학

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배정운

소속기관 Sungkyunkwan University

주요연구분야 자연과학 > 물리학 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

논문수 35 이용수 1,039

염근영

소속기관 성균관대학교

주요연구분야 자연과학 > 물리학 TOP 5% 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 TOP 10%

논문수 337 이용수 10,958

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