Structural and chemical separation of TaSiN thin film for using the electrode of PRAM device

정민철 ,  정민상 ,  최덕균 외 7명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .08

Evaluation of Barrier Films Against Lithium Diffusion

Byeol Han ,  Joo-Sun Hwang ,  Wan-Kyu Lim 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2014 .02

Cu 금속 배선에 적용되는 질소와 탄소를 첨가한 W-C-N 확산방지막의 질소불순물 거동 연구

김수인 ,  이창우

Applied Science and Convergence Technology

2007 .09

Stress - Strain Curve를 이용한 W-C-N 확산방지막의 물성 특성 연구

이규영 ,  김수인 ,  박상재 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .02

W-C-N 확산방지막의 격자상수 변화 분석을 통한 특성 연구

김수인 ,  이창우

Applied Science and Convergence Technology

2008 .03

박막내의 Stress 형태에 따른 W-N 확산방지막의 열적 안정성 연구

이규영 ,  김수인 ,  김주영 외 6명

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .08

Failure mechanism of very thin diffusion barriers

홍민기 ,  김경중 ,  위명용

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .07

Magnetic Effects of La0.67Sr0.33MnO₃ on W-C-N Diffusion Barrier Thin Films

Moon Kyoo Song ,  Ji Seop So ,  In Bo Shim 외 1명

한국자기학회지

2005 .04

ULSI 확산억제막으로 적합한 Ti - Si - N의 조성 범위에 관한 연구

박상기 ,  강봉주 ,  양희정 외 4명

Applied Science and Convergence Technology

2001 .10

V-Based Self-Forming Layers as Cu Diffusion Barrier on Low-k Samples

박재형 ,  문대용 ,  한동석 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2013 .02

불순물을 주입한 텅스텐(W) 박막의 확산방지 특성과 박막의 물성 특성연구

김수인 ,  이창우

Applied Science and Convergence Technology

2008 .11

W-C-N 확산방지막의 전자거동(ElectroMigration) 특성과 표면 강도(Surface Hardness) 특성 연구

김수인 ,  김창성 ,  이재윤 외 8명

Applied Science and Convergence Technology

2009 .05

SIMS Study on the Diffusion of Al in Si and Si QD Layer by Heat Treatment

Jong Shik Jang ,  Hee Jae Kang ,  An Soon Kim 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2014 .02

Thin Film Diffusion Barriers : A Quest for Stable Metal / Semiconductor Contacts

M-A. Nicolet

한국진공학회 학술발표회초록집

1992 .07

Engineered Tunnel Barrier Ploy-TFT Memory for System on Panel

유희욱 ,  이영희 ,  정홍배 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .02

In-situ magnetization measurements and ex-situ morphological analysis of electrodeposited cobalt onto chemical vapor deposition graphene/SiO₂/Si

F ,  anco ,  Vinicius C. De 외 10명

Carbon letters

2017 .01

Si (111)표면에서 Cu의 확산

이경민 ,  김창민

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .08

Electrochemical Reduction of High Pressure Carbon Dioxide on Metal Electrodes and Gas Diffusion Electrodes

Kohji ,  o Ha ,  a 외 1명

분석과학

1995 .12

DRAM / FRAM capacitor electrode에서 산화물이 도입된 확산방지막특성에 관한 연구

윤동수 ,  이성만 ,  백홍구

한국진공학회 학술발표회초록집

1997 .02

Metal nanowires formed on high - index Si surfaces : Bi / Si(5 5 12) vs Ag/ Si(5 5 12)

S. H. Cho ,  J. M. Seo

한국진공학회 학술발표회초록집

2004 .08