Development of the DC-RF Hybrid Plasma Source

김지훈 ,  천세민 ,  강인제 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .02

4㎒ I - PVD장치에서 정합회로를 이용한 플라즈마 제어

주정훈

Applied Science and Convergence Technology

1999 .02

Plasma impedance matching technique for bio plasma RF source

Kwang Ho JANG ,  Bo Ki KIM ,  Jin Joo CHOI 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Effect of RF Bias on Plasma Parameters and Electron Energy Distribution in RF Biased Inductively Coupled Plasma

Hyo-Chang Lee ,  Chin-Wook Chung

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

Key issues in the design of innovative RF plasma sources

Hong-Young CHANG

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Plasma Source Ion Implantation using High Power Pulsed RF Plasma

Seunghee Han ,  Yeonhee Lee ,  Youngwoo Kim 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2004 .02

Inductively Coupled Plasma 장치에서 Hybrid Plasma Model을 활용한 C₂F₈/ O₂ 가스의 특성 해석

김환호 ,  이정열 ,  박희성 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2019 .08

Initial Study of Electron Temperature and Density Simulation on Capacitively Coupled RF He Plasma

Deokho Hwang ,  Sanghyeok Pa ,  k 외 7명

한국진공학회 학술발표회초록집

2019 .08

Development of an RF matching system in an RF inductively coupled plasma (ICP) source for 100 kW negative ion beam

박민 ,  정봉기 ,  김태성 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .08

Improvement of Graphite Properties Using RF Thermal Plasma

신명선 ,  이규항 ,  최선용 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .02

Power Dissipation in a RF Capacitively Coupled Plasma

T. H. T ,  an ,  S. J. You 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2013 .02

CFD-Plasma & K-Plasma를 이용한 plasma simulation

유동훈

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2008 .08

NH₃ - Plasma Treatment of GaAs Surface at High Temperature in RF Parallel Plate Plasma Reactor

KyoungWan Pa ,  k ,  Seong-Jae Lee 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1993 .02

The Plasma Characterization of Multiple RF Power for Oxide Via Etching Process

Kun Joo Pa ,  k ,  Min Shik Kim 외 3명

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2009 .02

Plasma Engineering for Nano-Materials

Seong-In Kim ,  Myoung-sun Shin ,  Byung-koo Son 외 2명

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2012 .08

Measurement of Sputtering Yield of RF-Plasma treated MgO layer

정원희 ,  정강원 ,  임연찬 외 6명

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2006 .08

Effect of rf bias power on plasma density and electron heating in inductively coupled plasma (ICP)

이호원 ,  김주호 ,  정진욱

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2017 .08

Effect of cooling on RF choke filter characteristics

Hong Young-Hun ,  Chung Chin-Wook

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2018 .08

전북대학교 소재공정용 다목적 100 ㎾ ICP (RF) 플라즈마 발생 장치 구축

서준호 ,  이미연 ,  김정수 외 3명

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2012 .02