Plasma impedance matching technique for bio plasma RF source

Kwang Ho JANG ,  Bo Ki KIM ,  Jin Joo CHOI 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Development of an RF matching system in an RF inductively coupled plasma (ICP) source for 100 kW negative ion beam

박민 ,  정봉기 ,  김태성 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .08

Analysis of the Characteristics of Radio Frequency Power Transmission Lines Using a Voltage Current Probe in Low-Pressure Discharge

Chan-Won Pa ,  k ,  Hee-Jung Yeom 외 2명

Applied Science and Convergence Technology

2023 .09

Effect of hybrid plasma source on O radical generation in oxygen plasma

Kwan-Yong Kim ,  Kyung-Hyun Kim ,  Young-Hun Hong 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .08

Inductively Coupled Plasma 장치에서 Hybrid Plasma Model을 활용한 C₂F₈/ O₂ 가스의 특성 해석

김환호 ,  이정열 ,  박희성 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2019 .08

Initial Study of Electron Temperature and Density Simulation on Capacitively Coupled RF He Plasma

Deokho Hwang ,  Sanghyeok Pa ,  k 외 7명

한국진공학회 학술발표회초록집

2019 .08

Improvement of Graphite Properties Using RF Thermal Plasma

신명선 ,  이규항 ,  최선용 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .02

Investigation of effect of rf bias frequency on plasma parameters in a remote inductively coupled plasma

Aixian Zhang ,  Moo-Young Lee ,  Ho-Jun Moon 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .08

낮은 GWP를 가진 CxF2xO 을 이용한 SiO2 식각 공정 특성에 관한 연구

탁현우 ,  문룡 ,  성다인 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .02

Effect of cooling on RF choke filter characteristics

Hong Young-Hun ,  Chung Chin-Wook

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .08

Effect of rf bias power on plasma density and electron heating in inductively coupled plasma (ICP)

이호원 ,  김주호 ,  정진욱

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .08

A new approach for the synthesis of methanol from methane by RF plasma-excitation of He at low operating pressures

Byungwook Jeon ,  Eun Duck Pa ,  k 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

마이크로스트립 라인을 이용한 마이크로웨이브 플라즈마 기술 및 응용

김재호

진공이야기

2020 .09

Microwave Plasma Source Optimization for Thin Film Deposition Applications

Mahmoud A. I. Elga ,  hy

Applied Science and Convergence Technology

2022 .03

Plasma-induced reaction at plasma-liquid and plasma-polymeric film interface by AC-driven atmospheric pressure plasma

김태환 ,  이승환

한국진공학회 학술발표회초록집

2019 .08

Flexible Plasma Sheets

Guangsup Cho ,  Yunjung Kim

Applied Science and Convergence Technology

2018 .03

Equivalent circuit model of a rectangular RF driven hydrogen ion source for impedance matching network design

허성렬 ,  박민 ,  정봉기 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .08

Plasma Properties Data Center Activities for Plasma Application in the National Fusion Research Institute

송미영 ,  김대철 ,  권득철 외 16명

한국진공학회 학술발표회초록집

2019 .08

Enhanced Anti-reflective Effect of SiN_x/SiO_x/InSnO Multi-layers using Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition System with Hybrid Plasma Source

Min-Jun Choi ,  O Dae Kwon ,  Sang Dae Choi 외 3명

Applied Science and Convergence Technology

2016 .07

Enhancement of the Virtual Metrology Performance for Plasma-assisted Processes by Using Plasma Information (PI) Parameters

Seolhye Pa ,  k ,  Juyoung Lee 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .08