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저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제9회 학술발표회논문개요집
발행연도
1995.6
수록면
40 - 40 (1page)

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이 논문의 연구 히스토리 (4)

1998

고상 에피택시에 의한 초박막 $CoSi_2$ 형성과 $Si/epi-CoSi_2/Si$(111)의 이중헤테로 에피택셜 성장
최치규 ,  강민성 ,  문종 외 3명 한국재료학회지 1998.01 학술저널

1995

고상 에피택셜 성장에 의한 PtSi 박막의 형성
최치규 ,  강민성 ,  이개명 외 4명 Applied Science and Convergence Technology 1995.09 학술저널
고상 에피택셜 방법에 의한 에피택셜 PtSi박막 형성
최치규 ,  강민성 ,  이계명 외 3명 한국진공학회 학술발표회초록집 1995.06 학술대회자료

1994

동시증착에 의한 Si(111) - 7×7 기판 위에 TiSi₂ 에피택셜 성장
최치규 ,  류재연 ,  오상식 외 5명 Applied Science and Convergence Technology 1994.12 학술저널

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