레이저 어블레이션에 의한 질화붕소 박막 증착

신건배; 박승민; 김영만

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 신건배 박승민 김영만

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제9회 학술발표회논문개요집

발행연도: 1995.6

수록면: 35 - 35 (1page)

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