Thermal stability of fluorine doped silicon oxide films

Seoghyeong Lee ,  Jae-Yoon Yoo ,  Jong-Wan Pa 외 1명

Journal of Korean Vacuum Science & Technology

1998 .04

플라즈마 후처리 시간에 따른 저유전율 SiOF 박막의 특성

이석형 ,  박종완

Applied Science and Convergence Technology

1998 .08

Helicon Wave Plasma CVD 방법에 의한 SiOF 박막형성

최치규 ,  오상식 ,  이광만 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .06

고밀도 Helicon plasma를 이용한 저유전율의 SiOF박막 증착 연구

김정형 ,  서상훈 ,  윤석민 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .06

기계적 특성이 향상된 Oxide metal oxide hybrid 전극 특성 평가

박성민 ,  김서한 ,  송풍근

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .08

Density functional theory study of CH₄ and CO₂ adsorption by fluorinated graphene

Hwang ,  Doh Gyu ,  Jeong 외 3명

Carbon letters

2016 .01

Nuclear Magnetic Relaxation in Fluorinated YBa₂Cu₃O7-x

Cheol Eui Lee ,  D. White ,  P. K. Davies 외 5명

Journal of Magnetics

1996 .06

Fluorinated amorphous carbon thin films grown by plasma enhanced chemical vapor deposition with C₄F8 and Si₂H6 / He for low dielectric constant intermetallic layer dielectrics

Howoon Kim ,  Jang-Kyoo Shin ,  Dae-Hyuk Kwon 외 1명

Journal of Korean Vacuum Science & Technology

2003 .12

Metal Oxides - materials for the information age

정윤희

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

1996 .11

Conducting Metal Oxide Interdigitated Electrodes for Semiconducting Metal Oxide Gas Sensors

Young-Seok Shim ,  Hi Gyu Moon ,  Do Hong Kim 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .02

Formation and Characteristics of the Fluorocarbonated SiOF Film by O₂ / FTES - Helicon Plasma CVD Method

Kyoung-Suk Oh ,  Min-Sung Kang ,  Chi-Kyu Choi 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1998 .02

Effects of molybdenum oxide interfacial layer on contacts between conducting oxides and p-type silicon

Gyujin OH ,  Eun Kyu KIM

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

1-D and 2-D Metal Oxide Nanostructures

손영구

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

Improved heat-spreading properties of fluorinated graphite/epoxy film

Kim ,  Kyung Hoon ,  Han 외 5명

Carbon letters

2018 .01

Metal artifact reduction of silicon material in head and neck cancer with metal

So Hyun Pa ,  k

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2019 .11

Silicon oxide 두께에 따른 온도센서의 특성분석

유태균 ,  박준희 ,  장문규

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .08

Superconductivity in Fluorinated YBa₂Cu₃O6+x

Cheol Eui Lee ,  D. White ,  P. K. Davies 외 1명

Journal of Magnetics

1996 .12

High-Performance Amorphous Indium-Gallium Zinc Oxide Thin-Film Transistors withInorganic/Organic Double Layer Gate Dielectric

이태호 ,  김진우 ,  노용한

한국진공학회 학술발표회초록집

2013 .02

Cyclic Dry Cleaning Process of silicon oxide using OF₂/NH₃ Mixture Gas

길유정 ,  김두산 ,  김주은 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .02

Study on the dielectric properties of zirconium oxide as different stirring condition

A ,  eum Pa ,  k 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .08