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한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 창립기념 제1회 심포지움논문개요집
발행연도
1991.7
수록면
102 - 109 (8page)

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Thin film technology and the related technologies have great influences on microelectronic components applicable for both of commercial and military applications. This technology is, particularly, vital to innovate the overall performance and reliability of critical optoelectronic components, microwave and millimeter wave devices, miniature sensors utilized in the advanced military eqipments such as precision-guided missiles, telecommunication systems, radars, detection and warning systems. In this review, thin film technology has been discussed in terms of developmental trends, potential applications and future prospects. Finally, a R & D scheme is proposed to enhance the national capability for this important technology.

목차

ABSTRACT

Ⅰ. 서론

Ⅱ. 현대 무기체계와 미소전자기술

Ⅲ. 박막기술과 전파 / 전자광학기술

Ⅳ. 국내의 박막기술 연구개발을 위한 제언

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