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대한기계학회 대한기계학회 논문집 A권 대한기계학회논문집 A권 제29권 제4호
발행연도
2005.4
수록면
526 - 533 (8page)

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Reliability problem in inkjet printhead, one of MEMS devices, is also very important. To eject an ink drop, the temperature of heater must be high so that ink contacting with surface reaches above 280℃ on the instant. Its heater is embedded in the thin multi-layer in which several materials are deposited. MEMS processes are the main sources of residual stresses development. Residual stress is one of the factors reducing the reliability of MEMS devices. We measured residual stresses of single layers that consist of multilayer. FE analysis is performed using design of experiment(DOE). Transient analysis for heat transfer is performed to get a temperature distribution. And then static analysis is performed with the temperature distribution obtained by heat transfer analysis and the measured residual stresses to get a stress distribution in the structure. Although the residual stress is bigger than thermal stress, thermal stress is more influential on fatigue life.

목차

Abstract

기호설명

1. 서론

2. 프린트헤드의 구조

3. 프린트헤드의 파손

4. 응력 해석

5. 고찰

6. 결론

후기

참고문헌

참고문헌 (12)

참고문헌 신청
Tanner, D. M., Smith, N. E, Bowman, D. J., Eaton, W. P. and Peterson, K. A., 1997, "First Reliability Test of a Surface Micromachinned Microengine using ShiMMeR," Proceeding SPIE Symposium on Micromachinning and Microfabrication, Vol. 3224, pp. 14~23. google schola Kolpekwar, A. and Blanton, R. D., 1997, "Development of a MEMS Testing Methodology," Proc. International Test Conference IEEE, pp 923~931 google schola Tanner, D. M., 2000, "Reliability of Surface Micromachined MicroElectroMechanical Actuators." Proc. 22nd International Conference on Microelectronics, Vol. 1, pp. 97~104. google schola Rembe, C., Aschemann, H., Wiesche, S., Hofer, E. P., Debeda, H., Mohr, J. and Wallrabe, U., 2000, "Nontactile Reliability Testing of a Micro Optical Attenuator," Proc. 38th Annual International Reliability Physics Symposium, pp. 123~128. google schola Park, J-. H. and Oh, Y. S., 2004, "Fatigue Test of MEMS Device: a Monolithic Inkjet Print," KSME International Journal, Vol. 18, No.5, pp. 816~825. google schola

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