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논문 기본 정보

자료유형
학술대회자료
저자정보
박준협 (동명정보대학교) 최현창 (동명정보대학교)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2003년도 재료 및 파괴부문 추계학술대회 논문집
발행연도
2003.8
수록면
40 - 45 (6page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2005

열응력과 잔류응력하의 다층박막의 피로수명 해석
박준협 대한기계학회 논문집 A권 2005.04 학술저널

2003

열응력과 잔류응력 하의 다층박막의 응력 해석
박준협 ,  최현창 대한기계학회 춘추학술대회 2003.08 학술대회자료

초록· 키워드

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Reliability problem in inkjet printhead, one of MEMS, is also very important. To eject an ink drop, temperature of heater must be high so that ink contacting with surface reaches above 280℃ on the instant. Its heater is embedded in the thin multi-layer in which several materials are deposited. MEMS processes are the main sources of residual stresses development. Residual stress is one of the factors reducing the reliability of MEMS devices. We measure residual stresses of single layers that consist of multiplayer. FE analysis is performed using design of experiment(DOE). Transient analysis for heat transfer is performed to get a temperature distribution. And then static analysis is performed with the temperature distribution obtained by heat transfer analysis and the measured residual stresses to get a stress distribution in the structure. Although the residual stress is bigger than thermal stress, thermal stress is more influential on fatigue life.
#Micro-Electro Mechanical Systems(MEMS) #print head #fatigue test #heater

목차

Abstract
1. 서론
2. 프린트헤드의 구조
3. 프린트헤드의 파손
4. 응력 해석
5. 토론
6. 결론
참고문헌

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