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대한기계학회 대한기계학회 논문집 A권 대한기계학회논문집 A권 제29권 제2호
발행연도
2005.2
수록면
228 - 231 (4page)

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In this paper, we present reusable quartz master fabricated by electron-beam lithography and dry etching process of quartz, and results of injection molding based on the reusable quartz master for the manufacturing of nano-scale information media Since patterned structures of photoresist can be easily damaged by separation (demolding) process of nickel stamper and master, a master with photoresist cannot be reused in stamper fabrication process In this work, we have made it posslble of the repeated use of master by directly patterning on quartz in nickel stamper fabrication process We have designed and fabricated four different specimens including 100nm, 140nm, 200nm and 400nm pit patterns In addition, both intaglio and embossed carving patterns are fabricated for each specimen In the preliminary test of injection molding, we have fabricated polycarbonate patterns with varying mold temperature We have experimentally verified the fabrication process of the reusable quartz master and possibility of quartz master as direct stamper.

목차

Abstract

1. 서론

2. 퀄츠 마스터 설계 및 제작결과

3. 사출공정결과

4. 결론

후기

참고문헌

참고문헌 (3)

참고문헌 신청
Lehmann, E, Richter, G, Borzenko, T., Hock, V., Schmidt, G and Molenkamp, L.W., 2003, "Fabrication of sub-10-nm Au-Pd Structures Using 30 keV Electron Beam Lithography and Lift-off," Microelectronic Engineering, Vol. 65, pp. 327~333. google schola Alexei L, Bogdanov, Tommy Holmqvist, Piotrjedrasik and Bengt Nilsson, 2003, "Dual Pass Electron Beam Writing of Bit Arrays with Sub-100 nm Bits on Imprint Lithography Masters for Patterned Media Production," Electronic Materials, Vol. 67-68, pp. 381~389. google schola Sumio Hosaka, Hayato Sone, Yoshitaka Takahashi, Toshimichi Shintani, Keizo Kato and Toshiham Saiki, 2003, "SNOM Imaging of very Fine Pits Formed by EB Lithography of Ultrahigh Density Optical Recording," Microelectronic Engineering, Vol 67-68. pp. 728~735 google schola

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