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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2004.8
- 수록면
- 1,065 - 1,074 (10page)
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A robust optimal design considering fabrication influence has been performed for the decoupled vibratory microgyroscope fabricated by the bulk micromachining. For the analysis of the gyroscope, a design tool has been developed, by which user can perform the system level design considering electric signal process and the fabrication influence as well as mechanical characteristics. An initial design of the gyroscope is performed satisfying the performances of scale factor (or sensitivity) and phase delay, which depend on the frequency difference between driving and sensing resonant frequencies. The objective functions are formulated in order to reduce the variances of the frequency difference and the frequency in itself by fabrication error. To certify the results, the standard deviations are calculated through the Monte Carlos Simulation (MCS) and compared initial deviation that is measured fabricated gyroscope chip.
목차
Abstract
1. 서론
2. 비연성 자이로스코프의 모델링
3. 자이로스코프의 설계
4. 공정오차에 둔감한 강건 설계
5. 결론
후기
참고문헌
참고문헌 (16)
참고문헌 신청
[학술지(정기간행물)] - / 1998 / Micromachined Inertial Sensors 86 (8) : 1640 ~ 1659
[학술지(정기간행물)] - / 1991 / Silicon Monolithic Micromechanical Gyroscope : 966 ~ 968
[학술지(정기간행물)] - / 1994 / Review of Vibrtory Gyroscopes : 249 ~ 254
[학술지(정기간행물)] - / 1998 / A Tunable Vibratory Microgyroscope 64 : 51 ~ 56
[학술지(정기간행물)] - / 1999 / Double-Frame Silicon Gyroscope Packaged Under Low Pressure by Wafer Bonding
[학술지(정기간행물)] - / 1991 / Silicon Monolithic Micromechanical Gyroscope : 966 ~ 968
[학술지(정기간행물)] - / 1994 / Review of Vibrtory Gyroscopes : 249 ~ 254
[학술지(정기간행물)] - / 1998 / A Tunable Vibratory Microgyroscope 64 : 51 ~ 56
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