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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2004.8
- 수록면
- 655 - 660 (6page)
이용수
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Vibration analysis for a coupled MEMS gyroscope design is presented in this paper. Slight mistuning in fabricated MEMS gyroscopes often leads to significant difference of vibration characteristics between expected and real designs. This difference frequently results in a negative effect to the MEMS gyroscope performance. As long as the coupling between excited and sensed motions exists, such difference inevitably occurs. In this paper, dimensionless parameters that govern the vibration characteristics of coupled MEMS gyroscope are identified and the effects of the parameters on the vibration characteristics are investigated.
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[학술지(정기간행물)] - / 1996June / Micromachined Z-Axis Vibratory Rate Gyroscope," in the Technical Digest of the Solid- State Sensor and Actuator Workshop 2-6 : 283 ~ 287
[학술지(정기간행물)] - / 1994 / in the Technical Digest of the Solid-State Sensor and Actuator Workshop : 213 ~ 220
[학술지(정기간행물)] - / / Dual Axis Operation of a Micromachined Rate Gyroscope 2 : 883 ~ 886
[학술지(정기간행물)] - / 1997 / New Designs of Micromachined Vibrating Rate Gyroscope with Decoupled Oscillation Modes : 1129 ~ 1132
[학술지(정기간행물)] - / 2002 / Integrated Surfaced-Micro- machined Z-axis Frame Microgyroscope
[학술지(정기간행물)] - / 1994 / in the Technical Digest of the Solid-State Sensor and Actuator Workshop : 213 ~ 220
[학술지(정기간행물)] - / / Dual Axis Operation of a Micromachined Rate Gyroscope 2 : 883 ~ 886
[학술지(정기간행물)] - / 1997 / New Designs of Micromachined Vibrating Rate Gyroscope with Decoupled Oscillation Modes : 1129 ~ 1132
[학술지(정기간행물)] - / 2002 / Integrated Surfaced-Micro- machined Z-axis Frame Microgyroscope
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