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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
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저널정보
한국기계가공학회 한국기계가공학회지 한국기계가공학회지 제2권 제3호
발행연도
2003.9
수록면
56 - 61 (6page)

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This paper described about on-machine profile measurement of aspheric surfaces using contact probing technique In ultra precision machine A contact probe has been designed as a sensing device to obtain measuring resolutions in nanometer regime using a circle leaf spring mechanism and a capacitive-type sensor The contact probe which is installed on the z-axis is In touch with the aspherie objects which is fixed on the spindle of the diamond turning machine(DTM) during the measuring procedure The x, z-axis motions of the machine are monitored by a set of two orthogonal plane mirror type laser Interferometers As a results, the developed contact probe on-machine measurement system showed 10 nanometers repeatability with a ±20 and uncertainty of 200 nmPv

목차

ABSTRACT

1. 서론

2. 기상측정시스템

3. 기상측정

4. 결론

후기

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