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학술저널
저자정보
이정훈 (고등기술연구원) 이찬희 (고등기술연구원) 최준명 (고등기술연구원) 김호상 (고등기술연구원)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 Vol.29 No.8
발행연도
2012.8
수록면
846 - 853 (8page)

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The diaphragm-type stylus probe was developed for ultra-precision on-machine measurement (OMM) application. This probe is equipped with two diaphragms which are parallel and one capacitive sensor is used for detecting the vertical motion of end tip in the stylus when it is contacted to the optical freeform surface. For better performance of proposed probes, several design parameters such as axial stiffness and the lateral deformations were investigated with finite element analysis techniques. To verify the feasibility, the profiles of the master sphere ball were measured on the ultra-precision milling machine. The measurement results show that the proposed probe can calculate the radius of the circle within the accuracy of 0.1 ㎛ for the ultraprecision optical surface.
#On-machine Measurement(기상측정) #Diaphragm(다이아프램) #Ruby Tip Stylus(접촉식 루비 팁 볼) #Capacitive Sensor(정전용량형 센서) #Axial Stiffness(축방향 강성) #Least Square Circle Fitting(최소자승원 정의)

목차

1. 서론
2. 기상측정장치의 요구조건
3. 기상측정장치 설계
4. 기상측정장치 성능평가
5. 결론
후기
참고문헌

참고문헌 (6)

참고문헌 신청
Choi, J. P. / 200411 / Reduction of machining errors of a three-axis machine tool by on-machine measurement and error compensation system / JOURNAL OF MATERIALS PROCESSING TECHNOLOGY 155-156:2056~2064 google schola Kim, H. S. / 2009 / Fabrication of free-form surfaces using a long-stroke fast tool servo and corrective figuring with onmachine measurement / International Journal of Machine Tools and Manufacture 49(12):991~997 google schola Sohn, A. / 2000 / A new design for a three-dimensional measurement probe / American Society for Precision Engineering Annual Conference :22~27 google schola Yoo, S. B. / 2000 / Contact probing technique for profile measurement of aspheric lenses / Proc. of KSPE Spring Conference :603~606 google schola Young, W. C. / 2002 / Roark’s formulas for stress and strain, 7th ed. / McGraw-Hill Inc. google schola

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