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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2002.5
- 수록면
- 1,096 - 1,101 (6page)
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In this paper, we present a prediction model for microlens formation by means of a deep X-ray lithography
followed by a thermal treatment of a PMMA (Polymethyl-methacrylate) sheet. According to this modeling, Xray
irradiation causes the decrease of molecular weight of PMMA, which in turn decreases the glass transition
temperature and consequently causes a net volume increase during the thermal cycle resulting in a swollen
microlens. Both a simple analysis and a Finite Element Analysis based on this model are found to be able to
predict the variation pattern of the maximum heights of microlens which depends on the thermal treatment.
The prediction model could be applied to optimization of microlens fabrication process and to designing a
micro mold insert for micromolding processes.
followed by a thermal treatment of a PMMA (Polymethyl-methacrylate) sheet. According to this modeling, Xray
irradiation causes the decrease of molecular weight of PMMA, which in turn decreases the glass transition
temperature and consequently causes a net volume increase during the thermal cycle resulting in a swollen
microlens. Both a simple analysis and a Finite Element Analysis based on this model are found to be able to
predict the variation pattern of the maximum heights of microlens which depends on the thermal treatment.
The prediction model could be applied to optimization of microlens fabrication process and to designing a
micro mold insert for micromolding processes.
목차
Abstract
1. 서론
2. 물리적 모델링
3. 해석
4. 결과 및 토의
5. 결론
후기
참고문헌
참고문헌 (0)
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