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대한기계학회 대한기계학회 논문집 A권 대한기계학회논문집 A권 제26권 제9호
발행연도
2002.9
수록면
1,923 - 1,930 (8page)

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Inthis paper, we present modeling and simulation of microlens formation by means of a deep X-ray lithography followeb by a thermal treatment of a PMMA (Polymethylmethacrylate)sheet. According to this modeling, X-ray irradiation causes the decrease of molecular weight of of PMMA, which in turn decreases the glass transition temperature and consequently causes a net volume increase during the thermal cycle resulting in a swollen microlens. In this modeling, the free volume theory including the relaxation process during the cooling process was considered. The simulation results indicate that the modeling in this study is able to predict the fabricated microlens shapes and the variation pattern of the maximum heights of microlens which depends on the conditions of the thermal treatment. The prediction model could be appliedto optimization of microlens fabrication process and to designing a micro mold insert for micromolding processes.

목차

Abstract

1.서론

2.물리적 모델링

3.해석

4.결과 및 토의

5.결론

후기

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