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대한기계학회 대한기계학회 논문집 A권 대한기계학회논문집 A권 제26권 제10호
발행연도
2002.10
수록면
2,187 - 2,193 (7page)

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We present a novel method for 3D micro fabrication with LIGA process that utilizes a deep X-ray mask in which a micro-actuator is integrated. The integrated micro-actuator oscillates the X-ray absorber, which is formed on the shuttle mass of the micro-actuator, during X-ray exposures to modify the absorbed dose profile in X-ray resist, typically PMMA. 3D PMMA microstructures according to the modulated dose contour are revealed after GG development. An X-ray mask with integrated comb drive actuator is fabricated using deep reactive ion etching, absorber electroplating, and bulk micromachining with silicon-on-insulator (SOl) wafer. 1 mm × 1 mm, 20 um thick silicon shuttle mass as a mask blank is supported by four 1 mm long suspension beams and is driven by the comb electrodes. A I 0 ~m thick, 50 ~m line and spaced gold absorber pattern is electroplated on the shuttle mass before the release step. The fundamental frequency and amplitude are around 3.6 kHz and 20 ~m, respectively, for a de bias of 100 V and an ac bias of 20 V _p-p (peak-peak). Fabricated PMMA microstructure shows 15.4 um deep, S-shaped cross section in the case of 1.6 kJ cm^3 surface dose and GG development at 35°C for 40 minutes.

목차

Abstract

1.서론

2.내장형 X-선 마스크

3.MIA 를 이용한 X-선 공정 및 토의

4.결론

후기

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