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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
김종현 (포항공과대학교) 장석상 (포항공과대학교) 임근배 (포항공과대학교)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 Vol.31 No.3
발행연도
2014.3
수록면
269 - 275 (7page)

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2015

방사광 X-선 머시닝 공정 및 백색광 기반 연구를 위한 포항가속기연구소 빔라인 활용 및 성능 향상
김종현 ,  박현욱 ,  성민제 외 2명 대한기계학회 춘추학술대회 2015.11 학술대회자료

2014

마이크로 밀링과 X-선 리소그래피 공정을 이용한 다층 마이크로 구조물 제작 공정 개발
김종현 ,  장석상 ,  임근배 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2014.03 학술저널
방사광 X-선 기반 고유한 마이크로/나노 구조 제작을 위한 X-선 리소그래피 공정 개발
김종현 기계공 2014.01 학위논문

2007

경 X-선을 이용한 마이크로 구조물 제작
김종현 ,  장석상 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2007.06 학술대회자료

초록· 키워드

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Conventional machining technologies such as a milling process have limitations in accuracy to fabricate microstructures. Deep X-ray lithography using the synchrotron radiation is a promising micromachining process with an excellent accuracy, whereas there are difficulties in the fabrication of multi-layered structures. Therefore, it is mainly used for fabricating simple monolayered microstructures with a high aspect ratio. In this study, a novel technology for fabricating multi-layered microstructures is proposed by combining two processes. In advance, an X-ray resist material is cut and machined into various shapes and heights by the micro milling process. Subsequent X-ray irradiation process facilitates the fabrication of multi-layered microstructures. The proposed technology can overcome the limitation of the pattern accuracy in conventional milling process and the difficulty of the multi-layered machining in x-ray process. The usefulness of the proposed technology is demonstrated in this study by applying the technique in the realization of various multi-layered microstructures.
#Deep X-ray lithography (X-선 사진식각공정) #Micro milling (마이크로 밀링) #Multi layer (다층 구조) #Microstructures (마이크로 구조물) #Pattern alignment (형상 정렬)

목차

1. 서론
2. 다층 마이크로 구조물의 제작 실험
3. 실험 결과 및 고찰
4. 결론
참고문헌

참고문헌 (17)

참고문헌 신청
Camara, M. A. / 2012 / State of the Art on Micromilling of Materials, a Review / J. Mater. Sci. Technol 28(8):673~685 google schola Jahan, M. P. / 2011 / A Review on the Conventional and Micro-Electrodischarge Machining of Tungsten Carbide / Int. J. Mach. Tools Manuf. 51(12):837~858 google schola Cheng, J. / 2013 / A Review of Ultrafast Laser Materials Micromachining / Opt. Laser. Technol. 46:88~102 google schola Melchels, F. P. W. / 2010 / A Review on Stereolithography and its Applications in Biomedical Engineering / Biomaterials 31(24):6121~6130 google schola Azimi, S. / 2012 / Three-dimensional Silicon Micro / J. Micromech. Microeng. 22(11) google schola

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