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한국전자파학회 한국전자파학회논문지 한국전자파학회논문지 제15권 제1호
발행연도
2004.1
수록면
103 - 109 (7page)

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본 논문에서는 박막공진기에 대한 새로운 모델링 기법을 제안하고, 등가회로를 이루고 있는 각 수동소자들값에 대한 정확한 공식을 소개하였다. 제안된 새로운 모델은 박막공진기의 물리적 수직 구조 특성을 잘 표현하고 있는 Mason 모델에 대해 유전체 손실을 표현할 수 있는 저항 성분을 추가한 뒤, 임피던스 특성을 기반으로 한 단순화 과정을 통해 유도되었다. 제안된 모델은 기존의 Modified Butterworth-Van Dyke(MBVD) 모델과 비슷한 형태로 표현되지만 최적화 변수가 3개에 불과하기 때문에 측정값에 대한 훨씬 정확하고 빠른 커브 피팅(curve fitting)을 수행할 수 있으며, 공진주파수나 반공진주파수와 같은 설계자의 의도를 반영할 수 있는 변수들로 구성되기 때문에 여파기나 전압제어 발진기 등을 설계하는데 있어서 편리하게 이용될 수 있다.

목차

박막공진기에 대한 새로운 모델링 기법

요약

Abstract

1. 서론

2. Mason 모델의 구현

3. Mason 모델의 간략화

4. 새로운 모델

5. 결론

참고문헌

참고문헌 (9)

참고문헌 신청
, 1998. , Bulk Acoustic Wave Theory and Devices google schola , Jan.1998 , Electromechanical materials using a bulk acoustic wave resonator 45 (1) : 257 ~ 263 google schola , 2002. , TFBAR filters for 2 GHz wireless applications 2 : 1181 ~ 1184 google schola , 2000. , Modified Butterworth-Van Dyke circuit for FBAR resonators and automated measurement system 1 : 863 ~ 868 google schola , 1992. , Modeling of Thin Film Resonators and Filters 1 : 149 ~ 152 google schola

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