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한국전자파학회 한국전자파학회논문지 한국전자파학회논문지 제15권 제3호
발행연도
2004.3
수록면
284 - 290 (7page)

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본 논문에서는 기판상의 인덕터가 박막공진 여파기의 성능에 미치는 영향을 고찰하기 위하여 두 종류의 사다리형 박막공진 여파기를 설계 및 제작하였다. 여파기를 이루고 있는 박막공진기들의 압전물질은 AIN이고, 전극은 백금(Pt)으로 이루어 졌으며 기판에 의한 오버모드(overmode) 현상을 제거하기 위하여 air-gap 형태로 제작되었다. 듀플렉서를 이루고 있는 송신용 여파기의 특성을 보이기 위해 4개의 직렬 공진기와 2개의 병렬 공진기로 이루어진 사다리 형 4/2단 여파기가 제작되었으며, 수신용 여파기의 성능을 보이기 위해서는 3/4단으로 제작되었다. 여파기의 성능을 개선하기 위해 사용된 기판상의 인덕터들은 2 GHz 대역에서 약 5~9 정도의 Q 값 특성을 보였으며, 인덕터가 연결된 여파기는 연결되지 않은 경우에 비해 약 10~12 dB 정도의 개선된 대역외 저지특성을 보였다.

목차

요약

Abstract

Ⅰ. 서론

Ⅱ. 박막공진 여파기와 인덕터의 설계

Ⅲ. 측정 결과 및 분석

Ⅳ. 결론

참고문헌

참고문헌 (9)

참고문헌 신청
, 1998. , Bulk Acoustic Wave Theory and Devices google schola , jan.1998. , Electromechanical materials using a bulk acoustic wave resonator 45 (1) : 257 ~ 263 google schola , 2002. , TFBAR filters for 2 GHz wireless applications 2 : 1181 ~ 1184 google schola , 1992. , Modeling of thin film resonator and filters 1 : 149 ~ 152 google schola , 2001. , A film bulk acous-tic resonator (FBAR) duplexer for USPCS handsetapplications 1 : 367 ~ 370 google schola

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