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저자정보
조치현 (한국표준과학연구원) 강진섭 (한국표준과학연구원) 김정환 (한국표준과학연구원)
저널정보
한국전자파학회 한국전자파학회논문지 韓國電磁波學會論文誌 第24卷 第2號
발행연도
2013.2
수록면
214 - 217 (4page)

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본 논문에서는 박막 필름의 유전율 측정이 가능한 슬랏을 갖는 도파관형 공진기를 제안하였으며, 시료에 의한 공진 주파수 천이 현상으로부터 유전율을 측정한다. 이를 위하여 공진기 한 쪽에 얇은 슬랏을 두고, 그 위에 부착된 시료에 의해 공진기 내부 전자기장 분포가 섭동되어 공진 주파수 천이 현상이 발생될 수 있도록 하였다. 유전율에 따른 공진 주파수 천이량은 수치 해석을 통하여 계산하였으며, 이를 기반으로 2～3 ㎓ 대역에서 65 ㎛ 두께의 박막 필름 유전율을 측정하였다. 측정 결과, 유전율은 평균 3.3492±0.0605(표준오차)를 보였으며, 유전체 공진기나 도파관 프로브 방법과 같은 다른 측정법들과 상호 비교를 통해 제안 방법의 유효성을 검증하였다.
#Dielectric Constant #Permittivity #Resonator #Measurement #Thin Film

목차

요약
Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 도파관형 공진기 구조
Ⅲ. 측정 결과
Ⅳ. 결론
감사의 글
참고문헌

참고문헌 (6)

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1. [단행본] - R. J. Collier / 2007 / Microwave Measurements / The Institution of Engineering and Technology : 430 ~ 448 google schola 2. [학술지(정기간행물)] - R. Inoue / 2004 / Highly accurate and real-time determination of resonant characteristics: Complex linear regression of the transmission coefficient / IEEE Trans. Microwave Theory Tech. 52 : 2163 ~ 2168 google schola 3. [학술지(정기간행물)] - J. Krupka / 2001 / Uncertainty of clomplex permittivity measurements by split-post dielectric resonator technique / Journal of the European Ceramic Society 21 : 2673 ~ 2676 google schola 4. [기타자료] - / / FEKO ver. 6.2 / EMSS Inc google schola 5. [기타자료] - / / Split post dielectric resonators / QWED company google schola

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