Temperature Coefficient of Polysilicon Resistors Fabricated By a Mixed Process Using POCL3 Doping and As Ion Implantation

Dae Woo Lee ,  Tae Moon Roh ,  Kyu Ha Baek 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

POCl₃ 확산 공정 변화에 따른 도핑 프로파일의 변화 및 에미터 특성의 해석

박현정 ,  박효민 ,  강윤묵 외 2명

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2015 .06

First Principles Study on Hydrolysis of Hazardous Chemicals PCl₃ and POCl₃ Catalyzed by Water Molecules

정현욱 ,  강준희 ,  전호제 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2017 .05

Boron과 Phosphorous 이온주입에 의한 다결정 실리콘 저항의 제조 ( Fabrication of Polysilicon Resistors Compensated with Boron and Phosphorous Ion-Implantation )

김지범 ,  최민성

전자공학회논문지

1987 .09

이온 주입에 의한 다결정 실리콘의 응력 구배 완화 및 물성 개선

석지원 ,  강태준 ,  이상준 외 5명

한국항공우주학회지

2003 .12

Contact 이온주입과 Metal 증착이 다결정 실리콘저항의 면저항에 미치는 영향 ( The Effect of Sheet Resistance of Polysilicon Resistor with Contact Implantation and Metal Deposition )

박종태 ,  최민성 ,  이문기 외 1명

전자공학회논문지

1987 .11

급속열처리 방식을 이용한 다결정 실리콘 소자의 향상된 전기적 특성 ( Improved Electrical Properties of Polysilicon TFT Using Rapid Thermal Processing )

홍찬희 ,  박창엽 ,  이희국

전자공학회논문지

1990 .12

고온 열처리에 따른 다결정 실리콘 박막의 특성

최승진 ,  황완식 ,  이인규

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

다결정 실리콘 저항의 전기적 특성 ( The Electrical Properties of Polycrystalline Silicon Resistors )

박종태 ,  최민성 ,  이문기 외 1명

전자공학회논문지

1986 .11

급속 열처리 공정에 의한 다결정 실리콘 박막의 전기적 , 구조적 특성 연구 ( Effects of the Rapid Thermal Annealing on the Electrical and Structural Properties of Polysilicon Films )

김윤태 ,  유형준 ,  전치훈 외 2명

전자공학회논문지

1988 .09

급속열처리 공정에 의한 다결정 실리콘 박막의 전기적 , 구조적 특성연구 ( Effects of the Rapid Thermal Anneal on the Electrical and Structural Properties of Polysilicon Films )

김윤태 ,  유형준 ,  전치훈 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1987 .11

Fabrication and Characteristics of a Polysilicon Resistor with Low Temperature Coefficient

이태우 ,  노태문 ,  김천수 외 4명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

이온 도핑 방법에 의한 실리콘 박막의 도핑 연구 ( A Study on Ion Shower Doping in Si Thin Film )

유순성 ,  전정목 ,  이경하 외 2명

전자공학회논문지-A

1994 .05

다결정 실리콘 MOSFET 제작과 전류-전압 특성 ( The Fabrication of Polysilicon MOSFET and The I-V characteristics )

안상훈 ,  김성영 ,  박종태 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1987 .11

다결정 실리콘에 제작한 TFT의 전류-전압 특성 ( The Current-Voltage Characteristics of the Polysilicon TFT )

장정일 ,  홍성희 ,  박종태

대한전자공학회 학술대회

1990 .01

이온 주입과 엑시머 레이저 조사에 의해 동시에 제작된 실리콘 산화막과 다결정 실리콘 박막

김천홍 ,  박철민 ,  전재홍 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

폴리비닐알콜 부직포의 개질에 관한 연구(Ⅰ) : 수용성 폴리비닐알콜 부직포와 POCl₃의 반응 특성

이원철 ,  김창섭 ,  장상희 외 3명

한국염색가공학회지

2008 .12

다결정실리콘의 경사식각에 관한 연구 - 제1부 : 실험적 고찰 ( A Study on Taper Etching of Polysilicon - Part 1 : The Experimental Study )

이정규 ,  서동량 ,  변재동

전자공학회논문지

1989 .07

이온주입에 의한 다결정 실리콘의 고유저항 모델링 ( The Resistivity Modeling of Ion Implanted Polycrystalline Silicon )

박종태 ,  이문기 ,  김봉렬

전자공학회논문지

1986 .05